
研究團隊在《工程成果》期刊發表的論文中指出,早期研究顯示高頻交流電可利用集膚效應改善多晶硅棒溫度均勻性。新建模型涵蓋大型還原爐的熱行為、電行為及多環相互作用,通過Comsol軟件對多晶硅材料進行數值模擬,整合了焦耳加熱、直流與傳熱模型。團隊詳細設定了邊界條件與關鍵參數,以確定反應器內的溫度梯度。
為驗證模型準確性,研究人員將模擬電壓與工業80棒還原爐實際數據對比。論文表明,該模型對熱電行為的預測相對誤差小于10%。研究人員表示:“交流加熱顯著改善了溫度均勻性”,調整頻率可有效降低中心溫度?;谒沫h平均數據構建的回歸方程預測準確,平均相對誤差為4.62%。
研究顯示,頻率與直徑在5千赫至200千赫范圍內存在強相互作用,超過300千赫后溫差趨于穩定。這一多晶硅還原爐模型為工業應用提供了理論依據,有助于推動多晶硅生產工藝的優化。