據 Acp 系統稱，這家多結太陽能電池制造商需要一種集成到等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD) 工藝中的全自動解決方案來提高生產率，但同時也要精確、小心地處理基于鍺基板的高價值太陽能電池。
新解決方案旨在確保滿足工件托架嵌套中規定的 +/- 0.1 毫米定位精度，并補償托架的制造公差和裝載過程中冷卻引起的收縮。
為了應對這一挑戰，我們開發了一種智能視覺輔助晶圓處理解決方案，即支持雙面鍍膜的工業級選擇性柔順關節型機械臂 (SCARA) 機器人。該機器人安裝并集成在 Singululs Technologies PECVD 系統的晶圓盒裝載區內。
Acp Systems 的一位發言人證實：“新系統于 2024 年 6 月投入使用，自那時起就再也沒有發生過與處理相關的晶圓破損事故。”
該解決方案至少包含兩個相機子系統——Cognex Vision Pro 機器視覺軟件和 SCARA 機器人。后者的機械臂伸展范圍達 1,000 毫米，可以從晶圓盒中拾取晶圓，并將其可靠、準確地放入工件托架上幾百微米大的碳纖維槽中，并執行其他任務。
機械臂配備扁平真空夾持器，可快速更換以處理不同尺寸的晶圓。該系統還配備一個翻轉站，用于翻轉待雙面涂覆的太陽能電池。Acp Systems 表示：“根據電池尺寸，1,000 毫米 x 600 毫米的載具可容納 4 片、9 片或 16 片晶圓。”
一臺1200萬像素的攝像頭可檢測背光校準臺上晶圓的精確位置，并在整個過程中將信息發送到機器視覺軟件。該軟件提供控制和計算能力，即使晶圓和晶圓盒與原始尺寸、形狀或厚度存在偏差，也能實現精確定位和處理。例如，在高達350°C的溫度下，涂層工藝后冷卻導致晶圓熱收縮的情況。
最后，使用攝像系統進行質量控制，確保在將涂層太陽能電池放回盒中之前，晶圓的邊緣沒有損壞。
Acp Systems成立于1997年，為太陽能光伏、電子、半導體、汽車、醫療和制藥制造行業提供技術。該公司最近開發了quattroClean雪噴射清潔系統，該系統集成到德國Sciprios公司生產的鈣鈦礦太陽能電池和有機光伏(OPV)制造設備中。
